测量机在制造组装完成后，都要使用激光干涉仪和其它检测工具对21项系统误差（各轴的两个直线度、两个角摆误差、自转误差、位置误差，三轴之间的垂直度误差，共21项）进行检测，生成误差补偿文件，将这些误差用软件进行补偿，以保证测量机精度符合合同的要求。测头触发后锁存的每一个点坐标都要经过误差计算、补偿后再传送给计算机测量软件。