有温度补偿功能的测量机，可以根据设定的方式自动采取各轴光栅和被测零件的温度，对测量机和零件温度由于偏离20℃带来的长度误差进行补偿，以保持高精度。

　　A：对测量机工作状态进行监测（行程控制、气压、速度、读数、测头等），采取保护措施；控制系统有故障诊断功能，对测量机正常工作及安全有影响的部位进行检测，当发现这些异常现象时，系统就会采取保护措施（停机，断驱动电源），同时发出信息通知操作人员。

　　B.对扫描测头的数据进行处理，并控制扫描：配备有扫描功能的测量机，由于扫描测头采集的数据量非常大，必须用专用的扫描数据处理单元进行处理，并控制测量机按照零件表面形状，保持扫描接触的方式运动。

　　C.与计算机进行各种信息交流：虽然控制系统本身就是一台计算机，但是没有与外界交互的界面，其内部的数据都要通过与上位计算机的通讯进行输入和设置。控制信息和测点的数据都通过信息传输、交流。交流方式主要是RS232接口或网卡。