对三坐标测量机精度评定或实施误差修正，要以坐标测量机固有误差的模型为基础，其中，必须给出各误差项的定义，分析，传递及误差合成后的总误差。所谓的总误差，在三坐标测量机的精度检定中，是指反映坐标测量机精度特性的综合误差，即指示精度，重复精度等：在三坐标测量机的误差修正技术中，则是指空间点的矢量误差。

　　三坐标测量机的误差源纷繁复杂，很难将它们一一检测分离出来并加以修正，一般只修正那些对三坐标测量机精度影响比较大的误差源和那些比较容易分离的误差源。目前研究最多的是三坐标测量机的机构误差。生产实践中使用的三坐标测量机绝大多数是正交坐标系三坐标测量机，对于一般的三坐标测量机而言，机构误差主要是指直线运动部件误差，包括定位误差、直线度运动误差、角运动误差、以及垂直度误差。