三坐标测量机的测头分为两种：接触式测头按其结构又分为开关式（又称触发式或动态发讯式）和扫描式（又称比例式或静态发讯式）两大类。开关式测头的误差由开关行程，测头各向异性，开关行程分散性，复位死区等引起。扫描式测头的误差由测力一位移关系，位移一位移关系，交叉耦合干扰等引起。

　　测头的开关行程为测头与工件接触至测头发讯，测头所偏摆的一段距离。这是测头的系统误差。测头的各向异性是开关行程在各个方向上的不一致性。它是系统误差，但通常作随机误差处理。开关行程的分解性指重复测量时开关行程的离散程度。实际测量时，以某一方向开关行程的标准偏差计算。

　　复位死区指测头测杆偏离平衡位置后，撤除外力，测杆在弹簧力的作用下复位，但由于摩擦力的作用，测杆不能回到原始位置，它与原始位置的偏差就是复位死区。