光纤激光干涉尺工作原理

2022-04-03   浏览次数:0

  光纤激光干涉尺是利用激光干涉的原理,对位移进行高精度测量。激光尺主机产生激光后,激光通过光纤传输至激光探头,在激光探头中,分光片将激光分为两路,一路为参考光束,另一路为测量光束。激光探头射出的是测量光束,光束通过反射镜反射回激光探头中,与参考光束发生干涉,如

  果此时角锥反射镜发生了沿着光路的位移变化,就相当于测量光束的光路长度发生变化,由干涉原理可知,参考光束的光波与测量光束的光波相位求和就会发生变化,产生摩尔条纹。

  摩尔条纹被激光探头中的光电传感器采集到后,转换成电信号,传输到主机中,主机根据环境补偿组件采集的环境数据,对光波进行实时的计算,最后输出位置信号。

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