高精度测量：测量精度可达0.8ppm，百万分之0.8，测量1m的距离，精度高于0.8um。如果测量距离只有100mm，测精度高于0.08um。

　　高速测量：有别于高精度衍射式光栅，激光干涉测量的测量速度非常得快，可达1000mm/s以上，高于一般同精度光栅尺的300mm/s-500mm/s测量速度。

　　量程长：测量量程可以达到4m以上，是一般同精度光栅尺的几倍。

　　安装简便：对安装面无特殊要求，角锥与激光探头相对在一条直线上即可，直线度要求不高，因为激光探头有调整装置，可以很方便的将激光光束对准。

　　受环境影响小：环境补偿组件的使用使光线激光干涉尺相当于一个0膨胀系数的光栅尺，同时环境补偿模块中还带有材料补偿单元，可设定被测物的膨胀系数，使被测物的位移始终相当于NTP常态下的数据。

　　系统响应快：主机实时对环境参数与激光探头采集来的数据进行计算输出，系统相应时间低于1us，可以用作实时控制器的闭环应用中。

　　输出接口多样：主机输出接口包含USB接口和位置输出接口，位置输出接口有差分TTL（RS-422/EIA-422）、正余弦信号（SinCos 1Vpp）、Biss C.

　　余弦误差补偿：任何被测设备的测量轴与运动轴都可能存在一定的角度，这将导致测量结果产生误差，该误差为余弦误差，这个误差可以通过光纤激光干涉尺的软件进行设定和补偿。改补偿为实时补偿。