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光纤激光干涉尺应用场合
2022-04-03 浏览次数:01、高精度数控机床的位置反馈:如加工航空航天设备的高精度大型机床,此时就需要激光闭环来满足需求,这里的激光闭环就是指的光纤激光干涉尺作为闭环反馈。
2、高精度大型坐标测量机:大型工件测测量往往对精度和量程要求很高,同时还对温度非常敏感,光纤激光干涉尺的环境补偿组件可以对温度进行补偿,使之更合适高精度大型坐标测量机使用。
3、光刻机:光纤激光干涉尺的高精度、高抗震性能,非常适合光刻机使用。
4、普通光栅尺刻划、检验:由于光纤激光干涉尺的测量精度高出普通光栅尺一个数量级,故可以使用光纤激光干涉尺作为“母光栅”进行光栅尺的刻划、检验工作,同时光纤激光干涉尺的环境补偿功能,使光栅尺刻划的环境要求降低。这样就降低了光栅尺刻划生产线的投入成本。
5、高精度运动平台:光纤激光尺安装在高精度直线电机上,做高精度直线电机的反馈,可直接提高运动平台的控制精度。
6、其他检验检测设备:配合高精度圆光栅,可以做丝杠导程误差的检测。