用最小二乘法评定平面度误差时，评定的基准平面是最小二乘平面SLS，最小二乘平面确定是利用各测量点到平面的距离的平方和为最小值。取得各点相对于该平面的偏离值中的最大偏离值和最小偏离值之差作为平面度误差值。点在平面上方为正，在平面下方为负。