对角线法的基准平面是包含实际表面的一条对角线的两个对角点，并且和另一条对角线平行的平面SDL。

　　三远点法的基准平面是包含实际平面上距离较远的三个点的平面STP，平面STP的方程可由三点的坐标直接求得。

　　评定基准平面SDL、STP求得以后，再取得各点相对于该平面的偏离值中的最大偏离值和最小偏离值之差作为平面度误差值。点在平面上方为正，在平面下方为负。

　　综上可知，最小二乘平面法计算方便简洁，下面以最小二乘平面法为例介绍平面度的评定过程。