单个测针位置校准，需要观察测针直径和球度误差，三坐标测针直径应与平时校准相近且重复性好，球度误差也小，多个测头位置校准时，除要观察以上结果外，还要用校准后的各个位置的测针测量标准球，观察球心坐标值的变化，数值应与示值误差或探测误差相近。如果变化范围在（1~3）μm之间，就算正常。否则，就要重新检查测头、测座、接长杆、标准球的安装是否稳固、可靠。