三坐标测量机是一种精密度很高的测量设备，对工作环境有着严格要求，如温度应控制在20+/-2℃，湿度控制在40%-60%，以及良好的防震保证。

　　分析图纸，根据图纸要求确定被测量，大致规划测量过程，如基准的选择、测点的布置等。

　　测量之前要选择合适的测头并进行测头校验，获取测球半径值。测头校验一般使用标准球作为基准，测点方法最少为五点法，即标准球顶部取一点，赤道上测四点。校验时，测座、测头、标准球均要固定良好，且表面洁净。测头校验是开始测量的首要环节，对测量结果影响较大，务必足够重视。

　　为了避免测量时使用机器坐标系带来的回零误差，开始测量前还需要建立工件坐标系。建立合适的坐标系是三坐标测量机后续测量的基础，合理的坐标系将有助于提高测量精度和测量效率，并且，批量检测时，在编程中建立适当的坐标系可以降低工作强度，提高测量速率。简单来说，建立坐标系的方法有以下三种：

　　①工件位置找正。主要应用于测量规则几何工件时建立坐标系，对三维模型的存在与否没有要求。运用该方法建立工件坐标系时必须遵守321法则，即首先在待测工件上采三个以上的点来确定基准平面，其次在工件上测量两个以上的点来确定基准线，最后确定基准点，完成坐标系建立。

　　@RPS找正。运用RPS找正建立工件坐标系需要三维模型，主要针对原点不在工件本身、或无法找到相应的基准元素，多用于曲面薄壁、钣金类零件，如汽车、飞机的配件，这类零件的坐标系多在车身或机身上。

　　③三个中心点找正。三个中心点找正建立坐标系的方法简称三点找正，需要三维模型，主要针对一些特殊工件需通过三点找正确定工件位置的情况。其中，3个中心点必须是空间的非矢量元素，能确定准确的位置。元素包括点、圆、椭圆、球、方槽、圆槽，但是点必须采点位置准确，圆、椭圆、方槽、圆槽必须投影才可建立坐标系。

　　为了得到更加准确的测量数据，测量过程中要注意工件的摆放，以保证工件测点顺序与测针移动方向一致，这样测头移动更合理、安全。三坐标测量机是通过拾取表面点的空间坐标来完成各种几何量数据测量的，因此，测点个数及位置等的选取至关重要。理论上，采点越多越好，合理地增加测量点数可有效降低测量的不确定度，实际中，采样点尽可能多且分布均匀，覆盖整个元素范围，并符合元素测量采点规律。另外，也可通过数学计算的方法分析点的个数和位置，Kim等人研究了测点数与测量结果之间的关系，结果表明，测点数越多，测量结果越精确，但实际中应用较少，多以最少点数及经验确定。企业中批量检测时，过多的测点数会降低测量效率，而要根据测量任务及精度要求，确定测量位置及点数。

　　三坐标测量机拾取空间采样点坐标后，经过数学运算才能得到零件的几何参数误差，算法中多采用最小二乘法。