测量过程完成后，测量结果的分析与评定，主要是误差来源分析，是高精度产品检验的一项要求，直接影响产品评定。它是测量可靠性的表达，定量的计算描述就是测量不确定度。测量不确定度的影响因素主要有以下几个方面：

　　①方法误差。主要指测量方法不完善引起的误差，如采点个数及位置的选择，基准的选择与测量，工件安装是否合理等等。测量方法的选择要建立在对图纸与零件装配、功用等的透彻分析基础上，对于不明确的地方，可以由有经验人员来把握。

　　②设备误差。指由测量设备本身存在的误差而引起的测量误差，一般用测量机的示值误差或不确定度来表示，它与机器的使用工况有关，因此，三坐标测量机的日常维护保养及定期的精度补偿至关重要，另外，测头部分也是此类误差的重要来源，如测座不同角度旋转定位时产生的误差等。误差补偿技术是修正测量设备误差的重要方法，科研工作者也进行了深入的研究，是未来提高三坐标测量机测量精度的主要发展趋势。

　　③人员误差。指测量人员受到自身能力限制，而在测量时引入的误差，如手动采点时由于测量速度、方向、力度的差异而产生的误差。测量人员在工作过程中尽量使各种测量影响因素趋于一致、降低到最小，如相同的测量力、测量速度均匀过渡等，并尽量使用三坐标测量机自动测量模式，这些在一定程度上可以减小人员误差。

　　④环境误差。指由于环境因素与测量设备规定的标准状态不一致而引起的误差。如温度、湿度、气压、振动、灰尘等，其中以温度对测量精度的影响最大。三坐标测量机工作时的温度要求是20+/-2℃